[一]、工藝系統幾何精度
零部件加工過程中，需要機床、刀具、夾具及各個零部件之間的配合，形成連續運轉系統，即工藝系統。在加工原理、調整和刀具等誤差的影響下，該系統的計劃精度會受到的影響，這部分影響因素中，加工原理誤差能產生的危害，由于零部件加工過程中，不同形狀的刀具難以根據規定的路線運作，會有的誤差產生。如數控銑床所具備的直線插補功能，在平面上對一段曲線進行加工，就通過多個較短的直線運行構成與要求近似的曲線。
平面度誤差是檢驗平臺的主要精度指標。檢驗平板平面度誤差的測量，應在如下條件下進行。1)平板不受負荷。2)安裝或安裝穩妥。3)環境要避風、避熱、清潔。4)平板與測量儀與環境達到溫度平衡，禁止溫度變化。
[二]、平面研具的設計
平面研具有研磨平板和研磨圓盤。研磨平板多制造成易于獲得平面精度的正方形。規格為200mm*200mm、300mm*300mm、400mm*400mm。研磨盤為機用研具，環寬視工件和研磨軌跡而定，一般為工件長度的0.8~1.2倍。濕研研具常在平臺上加工出相隔15~20mm、相交成90°或60°的溝槽，槽寬為1~3mm，槽深為1~2mm。圓盤研具表面加工出螺旋槽，其螺旋方向應使研磨盤旋轉時，研磨液向內循環移動，與離心力抵消，防止研磨液在離心力作用下甩出，以使研磨液充分利用。
如用研磨膏時，應采用阿基米德螺旋槽為好。
